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ITEM

SU3800

SU3900

二級電子分解能

3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式）

15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式）

背散射電子分解能

4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式）

倍率

×5～×300,000（照片倍率*1）

×7～×800,000（實際顯示倍率*2）

加速電壓

0.3kV～30kV

低真空度設定

6～650 Pa

圖像位移

±50µm（WD＝10mm）

最大樣品尺寸

200mm直徑

300mm直徑

樣品臺

X

0～100mm

0～150mm

Y

0～50mm

0～150mm

Z

5～65mm

5～85mm

R

360°連續(xù)

T

－20°～+90°

最大可觀察范圍

130mm直徑（R并用）

200mm直徑（R并用）

最大可觀察高度

80mm（WD=10mm）

130mm（WD=10mm）

電機驅(qū)動

5軸電機驅(qū)動

電子光學系統(tǒng)

電子槍

中心操控式鎢絲發(fā)射

物像鏡頭光圈

4孔可動光圈

檢測系統(tǒng)

二級電子檢測器、高靈敏半導體背散射電子檢測器

EDX分析WD

WD＝10mm（T.O.A＝35°）

圖像顯示

自動光軸調(diào)整功能

自動光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC）

自動光軸調(diào)整（實時級別對齊）

自動調(diào)整光束亮度

自動圖像調(diào)整功能

自動亮度和對比度控制（ABCC）

自動對焦控制（AFC）

自動標記和焦點功能（ASF）

自動燈絲飽和度調(diào)整（AFS）

自動光束對準（ABA）

自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC）

操作輔助功能

光機旋轉(zhuǎn)、動態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點對點測量、角度測量、文本）、預設放大、樣品臺位置導航功能（SEM MAP）、光束標記功能

配件

■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機導航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成

配件（外部裝置）

能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、
各種外部功能臺（加熱臺、冷卻臺、牽引臺）