隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展,電子顯微鏡進(jìn)入了一個(gè)不僅重視數(shù)據(jù)質(zhì)量,而且重視其采集過程的時(shí)代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場(chǎng)成像技術(shù),同時(shí)還大大提升了高通量、自動(dòng)數(shù)據(jù)獲取能力。
超高分辨成像:日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下,也可獲得超高分辨的圖像。
先進(jìn)的自動(dòng)化功能:EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動(dòng)化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設(shè)置放大倍率、移動(dòng)樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對(duì)比度等。用戶可以通過簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個(gè)工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認(rèn)后,該程序便可以在每次調(diào)用時(shí)自動(dòng)獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。
靈活的用戶界面:原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。6通道同時(shí)顯示與保存,實(shí)現(xiàn)快速的多信號(hào)觀測(cè)與采集。1,2,4 或6通道信號(hào)可在同一個(gè)顯示器上同時(shí)顯示,可切換內(nèi)容包括SEM各探測(cè)器以及樣品室相機(jī)和導(dǎo)航相機(jī)??梢酝ㄟ^使用兩個(gè)顯示器來擴(kuò)展工作空間,可定制的用戶界面以提高工作效率。
機(jī)型 |
SU8600 系 |
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電子光學(xué)系統(tǒng) |
二次電子像分辨率 |
0.6 nm@15 kV |
0.7 nm@1 kV * |
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放大倍率 |
20 to 2,000,000 x |
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電子槍 |
冷場(chǎng)發(fā)射電子源,支持柔性閃爍功能,包含陽(yáng)極烘烤系統(tǒng)。 |
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加速電壓 |
0.5 to 30 kV |
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著陸電壓 * |
0.01 to 20 kV |
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探測(cè)器 |
(部分為選配項(xiàng)) |
上探測(cè)器(UD) |
UD ExB能量過濾器,包含SE/BSE信號(hào)混合功能 |
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下探測(cè)器(LD) |
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頂探測(cè)器(TD) |
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TD能量過濾器 |
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鏡筒內(nèi)背散射電子探測(cè)器(IMD) |
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半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器 (PD-BSED) |
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新型閃爍體式背散射電子探測(cè)器(OCD) |
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陰極熒光探測(cè)器(CLD) |
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掃描透射探測(cè)器(STEM Detector) |
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附件 |
(部分為選配項(xiàng)) |
導(dǎo)航相機(jī)、樣品室相機(jī)、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測(cè)器(EBSD) |
軟件 |
(部分為選配項(xiàng)) |
EM Flow Creater、HD Capture(最高 40,960×30,720 像素) |
樣品臺(tái) |
馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸 |
5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)(X/Y/R/Z/T) |
馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸 |
X:0~110 mm |
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Y:0~110 mm |
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Z:1.5~40 mm |
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T:-5~70° |
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R:360° |
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樣品室 |
樣品尺寸 |
最大直徑:150 mm |